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TFX3200是应用于8英寸大规模集成电路前端生产线上的薄膜厚度测量设备，该产品具备与12英寸膜厚测量设备相同的测量性能和设备稳定性。与同类型其他设备相比，产能领先1倍以上，拥有极高的性价比。
