FSD150s

FSD150s是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED衬底抛光片外观缺陷检测开发生产的全自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石衬底片(抛光片)表面缺陷检测。为LED衬底片厂家全面控制产品的出货品质及改善生产过程中良率。

FSD150s系统主要特点:

· 低持有成本、高稳定性和高可靠性的设计
· 4吋及6吋晶圆通用
· 适用于衬底抛光片检测

· 自主开发的划伤增强算法(EASI©RSIC)
· 同时检测微观及宏观缺陷
· 全表面检测、自动缺陷分类、自动存储缺陷图像
· 高分辨率的缺陷复查功能
· 根据检测结果自动分拣,提高生产效率
· 为管理工艺漂移提供有效手段,为良率管理提供数据
· 支持工厂自动数据传递


设备图片:


FSD150s


FSD150s