FSD150e & FSD150i

FSD150e & FSD150i是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED市场开发生产的全自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石图形衬底(PSS)晶圆生产工艺中的表面缺陷检测以及外延片检测。该系统具有高分辨率、高速、高性价比的特点,并能根据检测结果进行自动分拣。既能为LED生产厂商提高生产效率,又可为全面良率管理提供数据。FSD150e & FSD100i在国内市场已销售至数家客户并获得肯定和好评。

FSD150e & FSD150i系统主要特点:

· 低持有成本、高稳定性和高可靠性的设计
· 4吋及6吋晶圆通用
· 适用于PSS端检测 和外延片
· 同时检测微观及宏观缺陷
· 全表面检测、自动缺陷分类、自动存储缺陷图像
· 高分辨率的缺陷复查功能
· 根据检测结果自动分拣,提高生产效率
· 为管理工艺漂移提供有效手段,为良率管理提供数据
· 支持工厂自动数据传递


FSD150e & FSD150i


FSD150e & FSD150i